Время отклика в миллисекундах и высокая пропускная способность делают систему позиционирования полупроводиниковых пластин WP-Z-120A Prior Scientific идеальной для приложений, где важна высокая скорость анализа. Столик предназначен для размещения полупроводниковых пластин диаметром 300 мм (12 дюймов) и обеспечивает исключительную производительность при нагрузке до 8 кг. Таким образом данный столик отлично подходит для тяжелых пластин. В столике используются емкостные датчики позиционирования для измерения нанометрового смещения и обратной связи (ОС). Столик обеспечивает смещение без трения в диапазоне 120 мкм с ОС, быстрый отклик и короткое время установления с цифровыми контроллерами Queensgate.
Столик WP-Z-120A Prior Scientific подходит для задач интерферометрии, метрологии, микроскопии, контроля качества, позиционирования и т. д. По запросу доступны модели для работы в условиях вакуума, модели для повышенной нагрузки (до 14 кг), с большим диапазоном смещения (до 160 мкм), для пластин большей площади (до 200 мм), модели с возможностью наклона.