Время отклика в миллисекундах и высокая пропускная способность делают систему позиционирования пластин WP-Z-120A Prior Scientific идеальной для приложений, где важна высокая пропускная способность. Стол предназначен для размещения пластин диаметром 300 мм (12 дюймов) и обеспечивает исключительную производительность при нагрузке до 8 кг (подходит для тяжелых пластин).
В столике используются емкостные датчики позиционирования, обеспечивающие измерение нанометрового смещения и обратную связь. Система предлагает надежное движение без трения в диапазоне 120 мкм при работе с ОС и обеспечивает быстрый отклик и время установления с помощью цифровых контроллеров Queensgate.
Применения:
- Проверка полупроводниковых пластин;
- Электронные микроскопы SEM/TEM;
- Интерферометрия и метрология;
- Микроскопия;
- Инспекция материалов;
- Позиционирование зеркала.
|
Опции:
- Версия, совместимая с вакуумом (HV), идеальна для использования в вакуумной камере электронного микроскопа.
- Версии для сверхвысокого вакуума (UHV и UHV-RAD) с кабелем из каптона с низким выделением газов.
- Версия для высокой нагрузки до 14 кг.
- Специальная версия Tip Tilt Z для выравнивания платформы и сканирования
- Расширенный диапазон 160 мкм
- Для пластин 200 мм
- Адаптерная пластина для использования с предметным столиком Prior Scientific H112.
|