Особенности:
- Стабильность: 0.15 мкм;
- Скорость сканирования: до 300 мм/с;
- Очень тихая работа;
- Плавность перемещения;
- Широкий выбор держателей образцов;
- Встроенные 50 нм энкодеры;
- Совместимость с Z пьезподвижкой NanoScan Prior;
- Исключение трения кабеля в процессе работы.