PlasmaFlo - это дополнительная опция, которая может использоваться с любым из плазмоочистителей Harrick Plasma. PlasmaFlo обеспечивает более точный, количественный контроль расхода газа и мониторинг вакуумного давления, что очень важно для стабильности процесса. Также можно добавить второй источник газа без необходимости ручной замены газовой линии.
Особенности
-
PDC-FMG (115 В)| PDC-FMG-2 (230 В);
- Двойная подача газа для смешивания газов или независимого управления двумя рабочими газами;
- Двойные расходомеры рабочего газа;
- Максимальный расход 49 мл/мин для атмосферного воздуха при 0 psig*;
- ± 2% точность полной шкалы;
- Датчик вакуумметра с термопарой подключается к двери плазмоочистителя;
- Цифровой измеритель отображает диапазон давления от 1 мТорр до 760 Торр;
- Вес: 7 фунтов;
- Размер: 8,5″ В x 10″ Ш x 8″ Г.
* Максимальный расход зависит от рабочего газа и регулируемого давления. Для наиболее распространенных рабочих газов (воздух, Ar, N2, O2), используемых с плазмоочистителями и измеряемых при давлении 10 фунтов на кв. дюйм, имеются соответствующие таблицы расхода. Таблицы расхода для других рабочих газов и регулируемых давлений могут быть предоставлены. Пожалуйста, обращайтесь.