Нагревательная платформа для полупроводниковых пластин предназначена для высокоточного и равномерного нагрева полупроводниковых пластин (wafer) диаметром от 2 до 12 дюймов. Система обеспечивает стабильную температурную среду и высокую однородность распределения температуры по рабочей поверхности, что особенно важно при производстве и исследовании полупроводниковых приборов.
Нагревательная платформа может использоваться на различных этапах технологической обработки полупроводниковых пластин, включая отжиг, бондинг, нанесение фоторезиста, травление и химическое осаждение из газовой фазы (CVD). Диапазон рабочих температур — от комнатной температуры до 600 °C, стабильность поддержания температуры — ±0,1 °C.
Доступны различные варианты исполнения системы в зависимости от требований технологического процесса. Рабочая платформа может быть изготовлена из алюминиевого сплава, нержавеющей стали, сплава Invar® и других материалов. Доступны конфигурации для работы в вакууме и атмосфере, а также различные системы охлаждения и опциональный модуль приложения давления для процессов бондинга.
Нагревательная платформа подходит для исследований, разработки и производства полупроводниковых устройств, где требуется контролируемый нагрев пластин с высокой стабильностью и однородностью температуры.
Основные области применения:
|
Параметр |
Значение |
|
Тип |
Нагревательная платформа для полупроводниковых пластин |
|
Размер пластин |
2 / 4 / 6 / 8 / 10 / 12 дюймов |
|
Диапазон температур |
Комнатная температура – 600 °C |
|
Стабильность температуры |
±0,1 °C |
|
Материал |
Алюминиевый сплав, нержавеющая сталь, Invar® и др. |
|
Плоскостность |
≤10 мкм; возможно до 3 мкм в зависимости от материала |
|
Рабочая среда |
Вакуум / атмосфера |
|
Система охлаждения |
Опционально: водяное, воздушное и др. |
|
Давление при бондинге |
Опционально: 0–100 кН |
Заказ можно сделать следующим образом:
Товар бывает в наличии на нашем складе в РФ крайне редко. Из-за высокой стоимости и специфических характеристик высокотехнологического оборудования в большинстве случаев оно отсутствует и на складе самого производителя, так как производится под конкретный заказ.
Недорогие расходные материалы и дополнительные комплектующие, пользующиеся популярностью, производятся в значительном количестве и могут быть отправлены нам нашими поставщиками в течение пары дней после получения оплаты по инвойсу.
Срок поставки оборудования зависит от 3 факторов:
1. Наличие товара на складе производителя и срок его производства;
Если товара нет на складе производителя, срок производства высокотехнологичного оборудования, как правило, составляет от трех до шести недель. Производство сложных комплексных систем может занимать больше времени.
2. Время на доставку груза в РФ;
Срок доставки груза в РФ зависит от его веса и габаритов. Если груз небольшой, то он летит самолетом, что занимает один-три дня до таможенного склада. Если вес груза измеряется сотнями килограммов, то он плывет кораблем в пределах месяца.
3. Срок прохождения таможенного контроля.
Данный этап занимает до 10 дней. В случае непредвиденных обстоятельств процесс таможенного оформления может затянутся на месяц и больше.
Срок поставки комплектующих Thorlabs занимает от 4 недель.
В стоимость товара будет входить цена производителя, стоимость доставки, таможенные сборы и НДС. Цена в рублях также зависит от колебаний курса.
