Особенности
- Малый размер: Механический манипулятор: 140×148×148 мм, Контроллер: 204×163×140 мм, Поворотный фотоэлектрический энкодер: 153×123×87 мм.
- Сенсорный экран TFT с диагональю 4.3 дюйма показывает положение и скорость движения активированного манипулятора, а также оси X, Y и Z.
- Шаговый двигатель с высоким разрешением и четырехосный привод, максимальное перемещение по осям X, Y, Z и диагонали составляет 25 мм.
- Максимальная скорость движения: 2.9 мм/с.
- Прецизионная механическая система обеспечивает субмикронное разрешение до 0.132 мкм (грубое позиционирование) и 33 нм (тонкая настройка).
- Хорошая стабильность и малый дрейф, долговременная стабильность < 10 нм / ч при 24 ℃.
- Положение по осям постоянно отображается в относительной или абсолютной шкале и легко читается на экране.
- Поворотный фотоэлектрический энкодер может управлять двумя манипуляторами и легко переключаться.
- Функция исходного / рабочего положения может удовлетворить требование быстрого возврата электрода в исходное / рабочее положение.
- Высокая повторяемая точность позиционирования: одна ось ≤1 мкм, три оси ≤2 мкм.
- Переключайте режим непрерывного или пошагового приращения, одной кнопкой.