UVK9 - это полностью автоматическая камера УФ-облучения BlackHoleLab с высококоллимированным УФ-светом (угол коллимации < 2°). При работе с УФ-светодиодами нет необходимости в нагреве или охлаждении, а срок службы лампы превышает 10 000 часов. Интеллектуальный интерфейс облегчает процесс, и вам просто нужно следовать указаниям на экране. Благодаря функции выравнивания с точностью 5 мкм и разрешением 2 мкм, UK9 похож на любую систему УФ-облучения в чистой комнате, но остается настольным оборудованием и может быть установлен в любом месте, особенно за пределами чистой комнаты.
Преимущества
- Высокое разрешение до 2 мкм;
- Высокая мощность ультрафиолетового облучения;
- Полностью регулируемые время и мощность;
- Простота в использовании;
- Выравнивание при 5 мкм;
- Воспользуйтесь знаниями экспертов BlackHole Lab для вашего процесса мягкой литографии.
Выровняйте поверхность!
UK9 действительно похож на UVK3, однако он позволяет выравнивать маску и подложку перед УФ-облучением. Действительно, благодаря джой-паду вы сможете выровнять маску по первому слою фоторезиста с разрешением 5 мкм. Выравнивание легко выполняется по четырем степеням свободы, все движения можно проверить с помощью системы позиционирования с видеоподдержкой. Благодаря этому вы можете работать с разными толщинами на одной и той же пресс-форме, в частности, в биологической области для создания сначала небольшого канала (высота ~5 мкм), а затем большего, чтобы приблизить образец (высота ~40 мкм). Вы также можете создавать жесткие устройства на фоторезисте, закрывая каналы и открывая жидкостное соединение в определенном точном месте.
Поддержка
Как и для всего нашего оборудования, мы обеспечиваем высокую поддержку не только в отношении оборудования, но и в отношении связанных с ним этапов микрофабрикации до и после воздействия. Мы можем не только помочь вам в одной части процесса, но и сопровождать вас на протяжении всего процесса.