Для плазмоочистителей Harrick Plasma требуется вакуумный насос с минимальной скоростью откачки 1,4 м3/час (23 л/мин) и предельным общим давлением 200 мТорр (0,27 мбар) или менее. Пластинчато-роторные насосы с углеводородным насосным маслом подходят для откачки нереактивных или инертных газов (например, воздуха, N2 или Ar). Насосы Harrick Plasma не предназначены для перекачки кислорода; см. кислородные насосы. Для перекачки коррозионных или реактивных газов проконсультируйтесь с нами напрямую.
Базовый масляный вакуумный насосPDC-VPE (115 В)| PDC-VPE-2 (230 В)
PDC-VPE-OIL (1 кварта) Сменное масло для насоса |